皮秒激光器开创微加工新天地

顶 级电子设备要求更小的体积、更轻的分量、更低的资料本钱，对精密微加工的需求快速增长。例如体积更小、更强大、更亮堂的智能手机制作；降低本钱和进步太阳能电池的功率和加工生物可吸收的医疗支架。高新技术产业永不休止的立异步伐产生了超快（皮秒）工业激光器，它是精度要求极高的运用中的重要东西。正是因为这种激光器独特特性（兆瓦的峰值功率），使得用于一些新式设备的敏感资料和薄膜的精切加工成型以及宽带隙''麻烦''资料如玻璃的微加工成为可能。还有一些事例中，皮秒激光器用一步到位、直写的激光制程替代多步光刻法。在其他运用中，皮秒激光器替代了传统的切割/钻孔工艺，而且毋需运用化学品。

OLED：有机、柔韧的电子器件具有许多固有特性，包含分量轻，尺度薄和透明性。尤其是，易弯曲有机电致发光二极管（OLEDs）在显现器方面具有巨大运用潜力，因为这些二极管比其他运用背光源的显现屏耗费功率更少，并能够在卷带式出产线上出产[1，2，4]。出产OLED的一个关键步骤是刻划发光（LEP）层。皮秒激光器能够容易地完成无碎片结构化和深度挑选性操控，因为资料在响应声/热应力前就已经被去除，首要的靶材在热量在从方针区向周围资料传导前已被汽化[3]。优越的激光脉冲对脉冲稳定性（<2％），如Coherent Talisker，特别有利于准确操控脉冲能量，确保划痕一致；外表没有需要清除的熔化物或碎片。200 kHz的高激光重复频率能达到6米/秒的快速划刻速度，500kHz重复频率的Z新紫外Talisker 500激光器能添加到15米/秒的划刻速度，

硅太阳能电池：太阳能电池制作商正在经过两种方式使本钱与供电功率平衡：

（i）削减电池本钱及

（ii）进步电池的光转化功率。现在大多数太阳能电池都是根据硅晶片，添加这些结晶硅（c-Si）太阳能电池功率的方法之一是运用背面钝化层来削减复合损失。为确保电池的电接触，孔有必要钻穿钝化层（通常是由二氧化硅/氮化硅组成）。这有必要在对底层结晶硅损害Z小的情况下完成，以保持电池功能并为电流收集确保良好的欧姆接触。皮秒激光器提供了一种本钱更低、直写的光刻方法来替代这个使命，而且毋需运用大量化学品。具体而言，研讨发现355nm的皮秒脉冲在挑选性地去除介电层时对底层硅很少或没有损害，在挑选性发射极的基础上构成高效太阳能电池。