材质:金属
刻蚀深度:60-80um
刻蚀间距:60-80um
材质:铂铱合金
刻蚀深度:0.007mm
刻蚀宽度:0.005mm
材质:不锈钢
深度:0.1mm士0.1mm
宽度:0.260mm士0.01mm
材质:不锈钢
深度:40um±0.001mm
宽度:35um±0.001mm
材质:石英玻璃
深度:20um
R角:0.6
材质:玻璃
深度:0.04mm±0.005mm
精度:0.001mm
材质:SUS 306
深度:0.04mm±0.005
材质:熔石英
精度:±0.02mm
材质:硅
位置精度:±0.05mm
材质:石英玻璃
孔径:0.2±0.002mm
入口倒角(R):≤0.025mm
材质:玻璃
深度:77μm
宽度:169μm
材质:石英玻璃
深度:0.4mm
精度:0.001mm