产品名称
飞秒激光蚀刻设备
设备描述
主要针对曲面、复杂型面零部件的超精细冷加工蚀刻,采用飞秒激光刻蚀设备,适用于ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、氧化镍NiOx、金、银、碳粉等导电金属、氧化物材料激光刻蚀,可实现高温合金、金属、非金属、特别是复合材料表面的微结构加工,也可针对玻璃、硅片、氧化锆陶瓷等材料超细线宽激光刻蚀、划线、刻槽。
设备特点
●采用飞秒激光器,超短脉冲加工几乎无热传导,适用于任意有机&无机材料的高速钻孔,可实现复杂曲面的空间角度微结构加工;
●孔壁整齐、无毛刺、无重铸层,无微裂纹和冶金缺陷;
●更高的单脉冲能量,更高的加工精度,可对几乎任何固体材料实现精细加工;
●对材料无选择性,无应力。
技术参数
技术参数 | |
激光器 | 红外/和记误乐/紫外飞秒 |
功率 | 20w |
最大加工幅面 | 700×700mm² |
重复定位精度 | X &Y: ≤±0.1 μm;Z: ≤±3 μm |
视觉定位精度 | ≤±0.15 μm |
综合加工精度 | ≤0.5 μm |
定深刻蚀精度 | ≤1 μm |
最小线宽 | 0.2 μm ~ 2 μm可调 |
设备总功率 | 15kW |
环境温度 | 22±3℃ |
相对湿度 | 30%~65%,不结露 |
样品展示
设备特点
●采用飞秒激光器,超短脉冲加工几乎无热传导,适用于任意有机&无机材料的高速钻孔,可实现复杂曲面的空间角度微结构加工;
●孔壁整齐、无毛刺、无重铸层,无微裂纹和冶金缺陷;
●更高的单脉冲能量,更高的加工精度,可对几乎任何固体材料实现精细加工;
●对材料无选择性,无应力。
设备优势
飞秒冷却激光:飞秒冷却去除,无热作用,多种材料加工灵活性好,对材料无旋转性。
激光切割无应力:物质遇光升华,无需接触,直接打断材料分子键使作用区域材料瞬间电离,在微观尺度下进行材料去除,免除应力破坏困扰。
热影响精确控制:根据不同的热影响要求,选择适合的光源,配合适合的激光加工参数,最大限度降低热影响;
洁净加工:激光加工过程中实时进行激光烟尘处理,经过除尘过滤将有害物质、异味或是微尘过滤,达到可排大气要求。
技术参数
技术参数 | |
激光器 | 1030nm/515nm/343nm |
激光功率 | 10w/20w |
加工幅面 | 350mm*350mm(可定制) |
CCD视野范围 | 4mm*6mm |
CCD定位精度 | ±3um @150万像素 |
X/Y 轴定位精度 | ≤±3μm |
X/Y 轴重复定位精度 | ≤±1μm |
输入文件格式 | 支持dxf、cad |
综合切割精度 | ±15μm |
设备功率 | 15 kw |
环境温度 | 22±3℃ |
相对湿度 | 30%~65%,不结露 |
行业应用
主要针对曲面、复杂型面零部件的超精细冷加工蚀刻,采用飞秒激光刻蚀设备,适用于ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、氧化镍NiOx、金、银、碳粉等导电金属、氧化物材料激光刻蚀,可实现高温合金、金属、非金属、特别是复合材料表面的微结构加工,也可针对玻璃、硅片、氧化锆陶瓷等材料超细线宽激光刻蚀、划线、刻槽。
样品展示