产品名称:飞秒激光蚀刻加工设备
设备特点:
采用飞秒激光器,超短脉冲加工几乎无热传导,适用于任意有机&无机材料的高速钻孔,可实现复杂曲面的空间角度微结构加工
孔壁整齐、无毛刺、无重铸层,无微裂纹和冶金缺陷
更高的单脉冲能量,更高的加工精度,可对几乎任何固体材料实现精细加工
对材料无选择性,无应力
激光设备优势
飞秒冷却激光:皮秒冷却去除,无热作用,多种材料加工灵活性好;
激光切割无应力:物质遇光升华,无需接触,免除应力破坏困扰,专用载具配合激光加工,即使元器件距离切割道非常紧密,也无应力影响,快速分板;
热影响精确控制:根据不同的热影响要求,选择适合的激光器种类,配合适合的激光加工参数,最大限度降低热影响;
洁净加工:激光加工过程中实时进行激光烟尘处理,经过除尘过滤将有害物质、异味或是微尘过滤,达到可排大气要求。
技术参数
技术参数 | |
激光器 | 飞秒激光器 |
中心波长 | 1030nm |
输出功率稳定性 | <0 .5% RMS @ 24小时 |
CCD视野范围 | 4mm*6mm |
CCD定位精度 | ±3um @150万像素 |
X/Y 轴定位精度 | ±2μm |
X/Y 轴重复定位精度 | ±2μm |
X/Y 轴定位精度 | ±2μm |
X/Y 轴重复定位精度 | ±2μm |
输入文件格式 | 支持dxf、cad |
加工方式 | 振镜 |
综合加工精度 | ±15μm |
最大加工幅面 | 600mm*600mm |
工作时间 | 7*24h |
环境温度 | 22℃±3℃ |
相对湿度 | 55%±10% |
行业应用
超快飞秒激光蚀刻设备,适用于ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、氧化镍NiOx、金、银、碳粉等导电金属、氧化物材料激光刻蚀,可实现高温合金、金属、非金属、特别是复合材料表面的微结构加工,也可针对玻璃、硅片、氧化锆陶瓷等材料超细线宽激光刻蚀、划线、刻槽。
● 贵金属精密激光加工 ● 异形孔激光加工
● 盲孔的激光精密加工 ● 群孔微孔激光精密加工
样品展示
设备特点:
采用飞秒激光器,超短脉冲加工几乎无热传导,适用于任意有机&无机材料的高速钻孔,可实现复杂曲面的空间角度微结构加工
孔壁整齐、无毛刺、无重铸层,无微裂纹和冶金缺陷
更高的单脉冲能量,更高的加工精度,可对几乎任何固体材料实现精细加工
对材料无选择性,无应力
激光设备优势
飞秒冷却激光:皮秒冷却去除,无热作用,多种材料加工灵活性好;
激光切割无应力:物质遇光升华,无需接触,免除应力破坏困扰,专用载具配合激光加工,即使元器件距离切割道非常紧密,也无应力影响,快速分板;
热影响精确控制:根据不同的热影响要求,选择适合的激光器种类,配合适合的激光加工参数,最大限度降低热影响;
洁净加工:激光加工过程中实时进行激光烟尘处理,经过除尘过滤将有害物质、异味或是微尘过滤,达到可排大气要求。
技术参数
技术参数 | |
激光器 | 1030nm/515nm/343nm |
激光功率 | 15w/30W |
加工幅面 | 600mm*600mm |
CCD视野范围 | 4mm*6mm |
CCD定位精度 | ±3um @150万像素 |
X/Y 轴定位精度 | ±3um |
X/Y 轴重复定位精度 | ±2um |
X/Y 轴定位精度 | ±3um |
X/Y 轴重复定位精度 | ±2um |
输入文件格式 | 支持dxf、cad |
加工方式 | 振镜 |
综合加工精度 | ±15um |
最大加工幅面 | 600mm*600mm |
工作时间 | 7*24h |
环境温度 | 22℃±3℃ |
相对湿度 | 30%~65%,不结露 |
电气 | 激光系统:AC单相220V±10%, 50Hz;功耗:15A |
抽尘系统:AC三相380V±10%, 50Hz;功耗:10A |
行业应用
超快飞秒激光蚀刻设备,适用于ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、氧化镍NiOx、金、银、碳粉等导电金属、氧化物材料激光刻蚀,可实现高温合金、金属、非金属、特别是复合材料表面的微结构加工,也可针对玻璃、硅片、氧化锆陶瓷等材料超细线宽激光刻蚀、划线、刻槽。
● 贵金属精密激光加工 ● 异形孔激光加工
● 盲孔的激光精密加工 ● 群孔微孔激光精密加工
样品展示